在消費(fèi)電子、新能源汽車(chē)與高端半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，一項(xiàng)名為玻璃通孔（Through-Glass Via， TGV）的技術(shù)正成為實(shí)現(xiàn)設(shè)備小型化、高性能化的關(guān)鍵。這項(xiàng)技術(shù)要求在極薄的玻璃基板上，加工出數(shù)以萬(wàn)計(jì)垂直貫通、側(cè)壁光滑的高深寬比微孔。傳統(tǒng)的機(jī)械鉆孔或化學(xué)蝕刻工藝，在精度與無(wú)損傷要求前顯得力不從心。此時(shí)，具備“冷加工”特性的紅外皮秒激光切割機(jī)脫穎而出，成為解決這一精密制造難題的核心工具。超越激光（深圳），作為深耕超快激光領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)品牌，其自主研發(fā)的高性能紅外皮秒激光切割系統(tǒng)，為T(mén)GV玻璃的量產(chǎn)提供了全新的國(guó)產(chǎn)化解決方案。

一.TGV玻璃加工的挑戰(zhàn)與行業(yè)機(jī)遇

玻璃，這一經(jīng)典材料，已從日常領(lǐng)域延伸至新能源、信息通信等尖端行業(yè)。特別是在集成電路和先進(jìn)封裝技術(shù)中，玻璃憑借優(yōu)異的射頻性能與絕緣性，成為理想的襯底材料。TGV技術(shù)的核心，是在玻璃上制造出孔徑極小（可達(dá)10微米級(jí)）、深寬比極高的垂直通孔。這要求加工工藝必須高速、高精度，并確?？妆诠饣瑹o(wú)裂、無(wú)殘余應(yīng)力。

傳統(tǒng)的玻璃通孔工藝多采用“激光誘導(dǎo)刻蝕法”，即先用激光在玻璃上產(chǎn)生改性區(qū)域，再進(jìn)行化學(xué)蝕刻。其中，激光加工的質(zhì)量直接決定了最終通孔的良率。若激光加工引入過(guò)多熱損傷，將導(dǎo)致后續(xù)刻蝕的失敗。因此，尋找能實(shí)現(xiàn) “清潔”改性的激光源，是推動(dòng)TGV技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵。

二.紅外皮秒激光的“冷加工”原理

與長(zhǎng)脈沖激光不同，皮秒激光的脈沖持續(xù)時(shí)間極短，能量在瞬間注入材料表層，使其直接氣化，而熱量來(lái)不及向周?chē)鷤鲗?dǎo)。這種幾乎不產(chǎn)生熱影響區(qū)（HAZ）的加工方式，對(duì)玻璃等熱敏脆性材料至關(guān)重要。它能最大程度避免微裂紋和材料變性，獲得潔凈、輪廓分明的加工效果，是實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量玻璃微孔加工的基礎(chǔ)。

具體到TGV玻璃的激光加工流程，紅外皮秒激光切割機(jī)的工作精密而高效。激光器產(chǎn)生的高峰值功率紅外皮秒脈沖，經(jīng)貝塞爾光束等特殊光學(xué)系統(tǒng)聚焦于玻璃內(nèi)部，形成一個(gè)細(xì)長(zhǎng)的改性通道。此區(qū)域的玻璃化學(xué)活性增強(qiáng)，在后續(xù)濕法刻蝕中速率遠(yuǎn)高于未改性區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)高深寬比通孔的快速成型。

三.超越激光的解決方案：高穩(wěn)定性的工業(yè)級(jí)保障

面對(duì)厚玻璃與高性能玻璃的加工需求，普通低能量皮秒激光器效率有限。市場(chǎng)需要更高能量、更穩(wěn)定的工業(yè)級(jí)皮秒激光設(shè)備。例如，行業(yè)領(lǐng)先的設(shè)備脈沖能量可達(dá)2mJ以上，能單次完成超厚玻璃切割與改性，將加工效率提升超過(guò)60%。

超越激光（總部位于深圳），立足國(guó)產(chǎn)超快激光技術(shù)前沿，推出了新一代面向TGV等高端應(yīng)用的紅外皮秒激光切割機(jī)。該系列設(shè)備集成了多項(xiàng)自主核心技術(shù)，致力于滿(mǎn)足中國(guó)精密制造市場(chǎng)的獨(dú)特需求：

1.高能量固體放大平臺(tái)：采用先進(jìn)的鎖模種子源結(jié)合多級(jí)固體放大技術(shù)，在保證高光束質(zhì)量（M2<1.3）的前提下，實(shí)現(xiàn)了毫焦耳級(jí)別的大脈沖能量穩(wěn)定輸出，可應(yīng)對(duì)不同厚度與材質(zhì)的玻璃基板。

2.卓越的功率與指向穩(wěn)定性：通過(guò)一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與閉環(huán)控制，確保設(shè)備在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)連續(xù)運(yùn)行下的功率穩(wěn)定性（RMS<1%），為T(mén)GV的大批量、高一致性生產(chǎn)提供根本保障。

3.智能脈沖調(diào)控技術(shù)：支持Burst脈沖串及高重復(fù)頻率（MHz級(jí)）調(diào)節(jié)，用戶(hù)可根據(jù)不同玻璃材質(zhì)與通孔規(guī)格靈活優(yōu)化加工參數(shù)，在效率與質(zhì)量間找到最佳平衡。

四.立足本土，服務(wù)全國(guó)：超越激光的地域化支持網(wǎng)絡(luò)

超越激光深諳中國(guó)制造業(yè)集群化發(fā)展的特點(diǎn)。我們不僅在深圳設(shè)有研發(fā)與總裝中心，更在長(zhǎng)三角、京津冀、中西部等主要制造業(yè)聚集區(qū)建立了完善的技術(shù)服務(wù)與銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)。這意味著，無(wú)論您的企業(yè)位于華東的電子產(chǎn)業(yè)基地，還是華南的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶，都能獲得超越激光快速的現(xiàn)場(chǎng)響應(yīng)、專(zhuān)業(yè)的工藝調(diào)試及持續(xù)的售后支持。

結(jié)語(yǔ)

從智能手機(jī)的玻璃蓋板到車(chē)載雷達(dá)的封裝基板，TGV技術(shù)正深度賦能未來(lái)智能設(shè)備。其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，緊密依賴(lài)于紅外皮秒激光切割機(jī)技術(shù)的每一次進(jìn)步。

超越激光，作為一家扎根于深圳經(jīng)濟(jì)特區(qū)的國(guó)產(chǎn)高端激光品牌，致力于用一束精準(zhǔn)的“冷光”，穿透玻璃制造的精度極限。我們不僅提供設(shè)備，更為您提供針對(duì)TGV玻璃切割的完整工藝包與本地化技術(shù)服務(wù)。

如果您正在尋找可靠的TGV玻璃微孔加工設(shè)備，或希望獲得玻璃基板激光切割樣品測(cè)試，歡迎立即聯(lián)系超越激光。了解更多關(guān)于紅外皮秒激光切割機(jī)在半導(dǎo)體、顯示等領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用案例。